半導体パラメータアナライザ操作手順


Dot立ち上げ準備(測定30分前)

  1. クリーンブースの電源 100V 2P とクリーンブースの蛍光燈スイッチをONにする。特に埃を嫌う場合は、クリーンブースのHEPAフィルタ通風スイッチも入れる。
  2. ロータリーポンプ(クリーンブース外、裏側)のスイッチを入れる。
  3. 半導体パラメータアナライザの電源スイッチを入れ、30分ウオームアップする。

Dotセミオートプローバとの接続

MOSFETの各電極を次の表のように接続する。もし、このようにプロービングできない場合は、適当にポート番号を変更するように配線し直す。
SMUポートプローバ・ポート番号MOSFET電極
SMU1(Forse)11Drain
SMU1(Sense)12Drain
SMU2(Forse)3Gate
SMU2(Sense)4Gate
SMU1(Forse)7 or 8Source
SMU1(Forse)9 or 10Substrate

Dot測定条件の設定

次の表の順番で、PAGE CONTROL欄のスイッチを上から順に押して、現れた画面のパラメータを設定する。CHANNEL DIFINITIONページの CHANNELS表の設定例を表1、表2に、MEASUREページの設定例を表3、表4に示す。その他の表についても適切に設定を行う。

1CHAN
2MEAS
3DISPLAY
4GRAPH/LIST

表1 CHANNELS表の設定例(MOSFET出力特性測定用)
UNITVNAMEINAMEMODEFCTNSERIES
RESISTANCE
SMU1:HRVdIdVVAR10 ohm
SMU2:HRVgIgVVAR20 ohm
SMU3:HRVsIsCOMMONCONST
SMU4:HRVsubIsubCOMMONCONST

表2 CHANNELS表の設定例(MOSFET伝達特性/ゲートリーク測定用)
UNITVNAMEINAMEMODEFCTNSERIES
RESISTANCE
SMU1:HRVdIdVCONST0 ohm
SMU2:HRVgIgVVAR10 ohm
SMU3:HRVsIsCOMMONCONST
SMU4:HRVsubIsubCOMMONCONST

表3 MEASUREページの設定例(n-ch MOSFET出力特性測定用)
VARIABLEVAR1VAR2
UNITSMU1:HRSMU2:HR
NAMEVdVg
SWEEP MODESINGLESINGLE
LIN/LOGLINEARLINEAR
START0V0V
STOP5V5V(自動設定)
STEP50mV0.5V
NO OF STEP201(自動設定)11
COMPLIANCE20mA100uA
POWER COMPOFFOFF
HOLD0s
DELAY0s

表4 MEASUREページの設定例(n-ch MOSFET伝達特性/ゲートリーク測定用)
VARIABLEVAR1
UNITSMU2:HR
NAMEVg
SWEEP MODESINGLE
LIN/LOGLOG
START-3V
STOP8V
STEP50mV
NO OF STEP101(自動設定)
COMPLIANCE100uA
TIMING
POWER COMPOFF
HOLD0s
DELAY0s
CONSTANT
UNITSMU1:HR
NAMEVd
MODEV
SOURCE2.5V
COMPLIANCE20mA

Dot測定方法

  1. PAGE CONTROL欄のGRAPH/LISTボタンを押してグラフまたは測定値リスト表を表示する。
  2. MEASUREMENT欄のSINGLEボタンを押すと測定が始まる。STOPボタンを押すと測定がキャンセルされる。
  3. 測定が終わりスタンバイとなると、MEASUREMENT欄のLEDが消灯する。ソフトキーを使って適当にグラフのスケーリングを行う。
  4. 測定データにノイズが乗っている時は、MEASUREMENT欄(前面パネル上)のInteg Time ボタンでMEDWUMまたはLONGを選ぶ。

Dotディスク操作

[ディスクのフォーマット]

  1. PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
  2. ソフトキーのDISK OPERATIONを押す。
  3. 矢印キーでDOS(1.44MB)を選ぶ。(自分がデータを扱いたい環境に合わせること)
  4. ソフトキーの中からEXECUTEキー、続いてYESキーを押す。
[測定データの保存]

  1. PAGE CONTROL欄のDISPLAYボタンを押し、ソフトキーでLISTを選ぶ。
  2. PAGE CONTROL欄のGRAPH/LISTボタンで測定値リストを表示する。
  3. ソフトキーのSPREAD SHEETキーを押す。
  4. ファイルネームを入力、UNIT=OFF、区切り文字を指定して、ソフトキーのEXECUTEを押す。(処理に少し時間がかかる)
  5. ソフトキーのEXITを押して終了。
[測定条件設定の保存]

  1. PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
  2. ソフトキーのSAVEを押す。
  3. NAME=ファイル名、TYPE=MESを入力する。COMMENTは任意である。
  4. ソフトキーのEXECUTEを押す。
  5. ソフトキーのEXITで終了。
[測定条件設定の読み出し]

  1. PAGE CONTROL欄のSYSTEMボタンを押す。
  2. ソフトキーのGETを押す。
  3. ソフトキーのFILE CATALOGUEキーを押して、呼び出す設定ファイルを選択する。
  4. ソフトキーのEXECUTEを押す。
  5. ソフトキーのEXITで終了。

Dot終了方法

  1. 本体のメインスイッチを切るのみで良い。
[注1] プローバの終了処理とクリーンブースの電源を切るのを忘れないように。
[注2] クリーンブース内に備え付けの使用簿ノートに必要事項を必ず記録すること。


Copyright (C) 1999 Akio Kitagawa

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