セミオートプローバ操作手順概要

立ち上げ準備（測定30分前）

1. クリーンブースの電源 100V 2P とクリーンブースの蛍光燈スイッチON。特に埃を嫌う場合は、クリーンブースのHEPAフィルタ通風スイッチも入れる。
2. ロータリーポンプのスイッチON。
3. （半導体パラメータアナライザのメイン電源スイッチを入れ、30分ウオームアップ。）

サンプルデバイスのローディング

1. TESTERスイッチがDEMOにっていることを確認して、メインスイッチをONにする。
2. 操作パネルのSTARTボタンを押す。
3. サンプルをウエーハチャック中央部に乗せLOAD/ALIGNボタンを押す。
4. ウエーハチェックが探針の下で往復移動し始めたらSTOPボタンを押して止める。

サンプルのロード／アンロード

1. サンプルをウエーハチャックの中央部に乗せる。
2. LOAD/ALIGNボタンを押す。
3. STOPボタンを押す。

1. Z-DRIVEスイッチを押して、黄色いランプを消灯した状態にする。
2. アップダウンつまみで探針を少し上に上げておく。
3. UNLOADスイッチをMANU側へ倒すと、ウエーハチャックが外部へ出てくる。

探針の位置合わせ

1. 探針が試料から十分（1mm程度以上）離れていることを確認する。近すぎるようならアップダウンつまみをUP方向に回してプローブヘッドを上に上げる。
2. 奥側から手前へ伸びているプローバヘッドの探針（基準針）をプローブしたい電極（パッド）の上方に移動し位置を固定する。
3. 操作パネルのZ-DRIVEスイッチを押す。
4. 基準針のエッジセンサ（緑と黒のリード線）のみ接続して、その他のエッジセンサの接続を全て外す。
5. アップダウンつまみを回して基準針をサンプル表面に接触させる。接触すると前面パネルのSENSORランプ１が点灯する。
6. 基準針以外で使用したいプローバヘッドのエッジセンサ（緑と黒のリード線）を接続し、針先高さ調整ネジを回して、針先をサンプル表面に接触させる。このとき、基準針が接触しているとSENSORランプ１が点灯し、もう一本の針が接触すると、センサーランプ２が点灯する。
7. アップダウンつまみを回して、プローバヘッドを下げていく時に、SENSORランプ１と２が同時に点灯することを確認する。もし、余りにずれているようなら、基準針でない方の針先高さを調整し直す。
8. 残りのプローブヘッドについても、同じ要領で針先高さを合わせる。この場合、既に針先高さを合わせてあるプローブヘッドのエッジセンサは接続したままにしておく。エッジセンサが、探針の何れかがサンプル表面に接触していないことを検出すると、2番のSENSORランプ２が消灯した状態となる。
9. Z-DRIVEスイッチをオフにすると、黄色いランプが消灯して、サンプルが探針から離れる。この状態で、ジョイスティックでサンプルの位置を移動させることが出来る。

プロービング

1. LAMPスイッチをON側に倒して顕微鏡の光源を点灯し、顕微鏡の視度、フォーカスを調整する。
2. ジョイスティック・モード・スイッチがJOGになっていることを確認する。
3. ジョイスティックを使ってサンプルを移動し、探針先端と電極（パッド）の位置を合わせる。
4. Θ調整ノブを回して、サンプルの角度を調整する。
5. Z-DRIVEボタンを押して探針をサンプルに接触させると、SENSORランプ1，2が両方点灯する。点灯しない時は、アップダウンつまみを回してSENSORランプ1，2が点灯するまで探針を下げる。
6. LAMPスイッチをOFF側に倒して、顕微鏡光源を消灯する。
7. 半導体パラメータアナライザとの結線を確認して測定を行う。

終了方法

1. プローバのZ-DRIVEをOFF。
2. アップダウンつまみで探針を上げておく。
3. UNLOADスイッチをMANU側へ倒す。
4. サンプルを取り出す。
5. （半導体パラメータアナライザのメインスイッチをOFFにする。）
6. プローバのメインスイッチをOFFにする。
7. ロータリーポンプとクリーンブースの電源を切る。

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