このページは、金沢大学VDECサブセンターのVLSI評価試験室に設置されている電子ビームテストシステム (ADVANTEST E1380A) の実習解説書です。EBテストシステムの Quick Start のために開発された専用のチップを使用して実習を行います。EBテストシステムは、LSIテスタと一緒に使用する必要があります。VLSI評価試験室に設置されているLSIテスタ (IMS ATS-100) を完全に使いこなせるようになってから使用してください。また、誤操作は危険を伴いますので、初めて使用する人は、必ず、担当のTAまたは情報システム工学科の北川(kitagawa@is.t.kanazawa-u.ac.jp)にトレーニングを申し込んでください。この解説書は、通常行う基本操作に絞って記述しています。より高度な使用法は、ADVANTEST E1380A EBテスト・システム　トレーニング資料、またはユーザズガイドをご覧ください。

1. 準備

2. 像観察

3. 波形測定

4. 各種画像モード

5. CADナビゲーション（作成中）

6. 画像取り込みツール（作成中）